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第1225章
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“如果我猜的没错,你们目前研究的方向,氧化镓的衬底材料是β-Ga₂O₃,β相氧化镓对吧?”
“你这话说的,氧化镓衬底材料当然是用β-Ga₂O₃最好了。”
林仙儿皱眉道,“怎么?难道你们公司不是吗?”
“也算是,也算不是。”
李涵笑道,“β-Ga₂O₃衬底是氧化镓最稳定的晶型(热力学稳定相),可直接作为衬底使用,无需依赖其他材料。其制备技术最成熟,通过垂直布里奇曼法(VB法)或导模法(EFG法)可直接生长出大尺寸单晶010衬底(目前已量产 8英寸),是氧化镓雷达器件的主流选择。”
“这个衬底的核心优势是禁带宽度 4.8eV,击穿电场 8MV/cm,适合制造高功率器件,且与氧化镓外延层的晶格匹配度接近 100%(同质外延),缺陷密度低(<1×10⁵/cm²)。”
“但是,最稳定的β-Ga₂O₃衬底,往往意味着其他方面的欠缺。β-Ga₂O₃材料衬底确实有很多优点,但最大的缺点就是散热。”
“如果散热搞不好,无论β-Ga₂O₃衬底有多么的稳定,那也只是空中楼阁,说塌就塌。”
许大年认可的点头道,“李总,看来您确实对雷达这方面有研究,毫无疑问,衬底散热是目前世界性难题,氧化镓雷达为什么这么久都进展不大,有一个原因就是β-Ga₂O₃材料衬底散热性能差,很容易烧坏出现故障。”
林仙儿这时不屑道,“这些问题我们都清楚,我们就是想要解决β-Ga₂O₃衬底的散热问题,才来看看有没有什么新的办法。”
李涵笑道,“实际上,我们在β-Ga₂O₃衬底材料上也吃过亏,花费了大量时间用在研发这
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